真空を測定するにはいくつかの方法があります。 まず、私は違いがあることを説明する必要があります:
- 時にはゲージ真空と呼ばれるゼロ基準として大気圧を使用して真空ゲージ。
- 真の真空計、より正確には絶対圧力計。
最初のタイプは、単に1バール（大気圧）以下の負圧を測定します。 このゲージは、検出素子の一方の側に大気圧があり、他方の側に大気圧以下の圧力がある差圧計です。 読書は大気圧の変化の影響を受けます。
第二のタイプは、完全に近い真空を含むチャンバと大気よりも大きな圧力との間の差圧を測定したり、以下で説明する他の手段によってガス密度を測定したりする。
両方のタイプは、以下の例外を除いて、二つの圧力の差のために屈曲する何らかのセンサーを使用しています。 これはダイヤフラム、ふいごまたはbourdon管であるかもしれません。 これらのすべての場合において、真空圧力を導出するために差圧によって引き起こされる歪みを測定するいくつかの機構が提供される。
ガス密度アプローチは、一般的にTorrゲージと呼ばれ、測定される圧力にさらされた小さな加熱されたワイヤを使用します。 ワイヤからの熱は、熱を運び去るワイヤに触れる空気の分子によって除去される。 より多くの空気はワイヤーに冷却効果の多くを作り出します。 この冷却効果を測定することにより、ガス密度を導出することができる。
もう一つの方法は、マノメーターの上部を密閉し、ほぼ完全な真空下で水銀マノメーターを使用することです。 これにより、水銀の柱は、井戸の管の底に加えられる圧力に等しい高さに上昇する。 井戸が大気圧にさらされると、大気圧を測定します。 真空が適用されると、他のゲージと同様に、完全真空に近い基準と測定された真空との差を示しました。
真空中で示されるレーザーの後方散乱を測定するような、絶対零度に非常に近い圧力まで測定する他のよりエキゾチックな手段があります。 これは、ガスの個々の分子をカウントします。